Substrato do sensor IC

Vamos começar com uma breve introdução aos sensores MEMS: o nome completo do MEMS é o sistema micro-eletromecânico. O sistema micro-eletromecânico refere-se àqueles que podem ser produzidos em lotes, combinando micro-mecanismos, micro-sensores, micro-attuadores, processamento de sinais e circuitos de controle, até interfaces, comunicação e fonte de alimentação são iguais a um micro dispositivo ou sistema integrado. Você pode entendê-lo como uma tecnologia que usa processos e materiais tradicionais de semicondutores para fabricar micro-máquinas em um chip com a tecnologia Micron e integrá-lo ao circuito correspondente como um todo. Portanto, é uma plataforma avançada de tecnologia de fabricação desenvolvida com base na tecnologia de fabricação de semicondutores.

Vantagens dos sensores MEMS: em comparação com as máquinas tradicionais, seu tamanho é menor, o maior não é superior a um centímetro, ou mesmo apenas alguns mícrons, e sua espessura é ainda menor. Ele usa materiais à base de silício com excelentes propriedades elétricas. A força, a dureza e o módulo de materiais de silício de Young são equivalentes ao ferro, a densidade é semelhante ao alumínio e a condutividade térmica é próxima do molibdênio e do tungstênio. Usando a tecnologia de geração semelhante ao circuito integrado (IC), a tecnologia e o artesanato maduras na produção de IC podem ser usadas em grandes quantidades e produção de baixo custo, para que o desempenho do custo seja bastante aprimorado em comparação com a tradicional tecnologia de fabricação "mecânica".

Microfones tradicionais e microfones MEMS integram sete ou oito peças mecânicas em um pequeno chip de sensor MEMS. Portanto, o volume é muito pequeno e o peso é muito leve. Por ser uma fabricação de chips, possui boa consistência e baixo consumo de energia, facilitando a produção em massa. Mas os requisitos técnicos são muito altos. O surgimento de sensores MEMS atende muito aos requisitos de todos para tamanho pequeno e alto desempenho.

E esse chip poderoso é feito usando substrato do sensor IC. Os sensores MEMS usam o substrato do sensor IC como substrato de chip por um motivo. Vamos primeiro olhar para as áreas de aplicação do MEMS e, em seguida, por que é melhor usar o substrato do sensor IC. Entendido.

Com o desenvolvimento da tecnologia eletrônica, os campos de aplicação dos sensores MEMS estão se tornando cada vez mais extensos, desde as primeiras aplicações de aviação industrial e militar ao mercado de consumidores comuns. Militares e aviação pertencem aos chamados campos de aplicação de MEMS de alto valor, mas a quantidade desses dois campos é muito pequena, cerca de 40 milhões de dólares por ano, e o espaço para crescimento também é limitado. O valor dos dispositivos MEMS em eletrônicos médicos também é bom e o preço médio de venda de seus sensores é muito maior do que outros campos comparáveis ​​do MEMS. No geral, a receita operacional anual do setor de MEMS de alto valor atingirá cerca de 300 milhões de dólares americanos. No entanto, as aplicações mais amplamente utilizadas pertencem à indústria de eletrônicos automotivos e aos mercados de aplicativos eletrônicos de consumo, que representam mais de 60% do mercado de sensores MEMS. Vamos analisar essas duas principais áreas de aplicação abaixo.

Um é a eletrônica automotiva. Todo mundo sabe que os sensores do carro estão basicamente no sistema de controle, coletando principalmente dados do motor, mas o ambiente operacional do carro é muito severo, de alta temperatura, corrosão, poeira e outros fatores pode ser possível. Faz com que o sensor frágil falhe. No momento, é necessário o substrato do sensor IC para garantir a operação normal de todo o sensor.